希爾思熱式質(zhì)量流量計(jì)是利用熱傳導(dǎo)原理測(cè)流量的儀表。該儀表采用恒溫差法對(duì)氣體質(zhì)量流量進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便，測(cè)量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)。傳感器部分由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)鉑電阻溫度傳感器組成。采用橋式環(huán)路，一個(gè)傳感器測(cè)量流量溫度，另一個(gè)傳感器維持高于流體溫度的恒溫差，可以在高溫和高壓條件下進(jìn)行流量測(cè)量。

　　熱式質(zhì)量流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理，熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)，其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻（鉑RTD），一個(gè)是速度傳感器，一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)這兩個(gè)RTD被置于介質(zhì)中時(shí)，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫差，另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計(jì)算的。氣體速率增加，傳感器傳遞給介質(zhì)的熱量增多。
 

　　希爾思熱式質(zhì)量流量計(jì)具有如下技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

　　1.真正的質(zhì)量流量計(jì)，對(duì)氣體流量測(cè)量無需溫度和壓力補(bǔ)償，測(cè)量方便、準(zhǔn)確。可得到氣體的質(zhì)量流量或者標(biāo)準(zhǔn)體積流量。

　　2.寬量程比，可測(cè)量流速高至100Nm/s底至0.5Nm/s的氣體，可以用于氣體檢漏。

　　3.抗震性能好使用壽命長(zhǎng)。傳感器無活動(dòng)部件和壓力傳感部件，不受震動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響。

　　4.安裝維修簡(jiǎn)便。在現(xiàn)場(chǎng)條件允許的情況下，可以實(shí)現(xiàn)不停產(chǎn)安裝和維護(hù)。

　　5.數(shù)字化設(shè)計(jì)。希爾思熱式質(zhì)量流量計(jì)整體數(shù)字化電路測(cè)量，測(cè)量準(zhǔn)確、維修方便。

　　6.采用RS-485通訊，或HART通訊，可以實(shí)現(xiàn)工廠自動(dòng)化、集成化。